7月23日，青海省2020年科學(xué)技術(shù)獎勵結(jié)果公布，由黃河公司新能源分公司主導(dǎo)研發(fā)的“電子級多晶硅成套制備技術(shù)的研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化”榮獲青海省科學(xué)技術(shù)進步一等獎。

電子級多晶硅是集成電路和分立器件的最基礎(chǔ)原材料，更是信息產(chǎn)業(yè)、集成電路產(chǎn)業(yè)、新能源產(chǎn)業(yè)發(fā)展的命脈。但其制備技術(shù)卻長期被美、德、日等發(fā)達國家封鎖，若只能依賴進口，猶如被人扼住了喉嚨。

“只有突破電子級多晶硅生產(chǎn)核心技術(shù)，徹底打破國外多晶硅企業(yè)壟斷市場，才能使我國擺脫集成電路關(guān)鍵基礎(chǔ)材料長期進口受制于國外的局面。”該項目的第一完成人——黃河公司黨委書記、董事長謝小平深知實現(xiàn)國產(chǎn)材料取代進口材料的重要性。

為實現(xiàn)集成電路硅材料國產(chǎn)化，完成進口替代，新能源分公司自2009年起就圍繞微電子單晶用多晶硅產(chǎn)品制備和產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用展開研究。十年磨一劍，在與浙江大學(xué)硅材料國家重點實驗室、浙江金瑞泓科技股份有限公司的共同研究合作下，目前已形成副產(chǎn)物四氯化硅高效循環(huán)利用技術(shù)、三氯氫硅氣體分離提純技術(shù)、高純多晶硅制備和質(zhì)量控制技術(shù)等一系列核心自主技術(shù)，實現(xiàn)了微電子單晶用多晶硅產(chǎn)品的規(guī)?；a(chǎn)。

該項目目前擁有完全自主知識產(chǎn)權(quán)，累計申請專利24項，其中獲得發(fā)明專利授權(quán)5項，受理發(fā)明專利6項，參與編制國家標準7部、行業(yè)標準4部。

依托項目研究，新能源分公司已經(jīng)具備電子級多晶硅生產(chǎn)裝置工程化能力，并且成為國內(nèi)唯一一家量產(chǎn)并批量銷售電子級多晶硅的企業(yè)。生產(chǎn)的“黃河水電多晶硅”經(jīng)過ChemTrace、EAG、SGS等國內(nèi)外20多家權(quán)威機構(gòu)檢測和上百次下游企業(yè)的評估、試用，質(zhì)量指標已與國外龍頭企業(yè)相當，完全滿足分立器件研磨片、3-6英寸拋光片、8英寸、12英寸外延片和拋光片的制造要求，產(chǎn)品質(zhì)量達到國際先進水平，產(chǎn)品市場占有率逐年攀升，目前國內(nèi)市場占有率達20%。

“經(jīng)過多年深耕，新能源分公司已經(jīng)成功突破電子級多晶硅生產(chǎn)核心技術(shù)，實現(xiàn)了在集成電路產(chǎn)業(yè)的大規(guī)模應(yīng)用，徹底打破了國外市場壟斷，保障了我國集成電路硅材料產(chǎn)業(yè)的戰(zhàn)略安全，加快了我國6-8英寸、8-12英寸硅片和集成電路用高純硅材料產(chǎn)業(yè)化的進程。”黃河公司黨委委員、副總經(jīng)理劉剛介紹道，特別是中美貿(mào)易紛爭激烈的背景下，新能源分公司推進了集成電路硅材料國產(chǎn)化進程，完成了進口替代，填補了電子級多晶硅生產(chǎn)技術(shù)和市場的空白。

“集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展關(guān)乎企業(yè)、關(guān)乎青海、更關(guān)乎國家。我們將繼續(xù)潛心鉆研，攻克難點，打造國家集成電路材料一流企業(yè)，擘畫高質(zhì)量發(fā)展藍圖，全力推動國家基礎(chǔ)材料戰(zhàn)略安全。未來可期!”對于未來發(fā)展，新能源分公司總經(jīng)理秦榕信心滿滿。作者：訾麗周國峰