本月21日零時17分,臺灣嘉義縣發(fā)生里氏6.4級地震,臺積電位于臺南的先進制程產(chǎn)線一度停機,全廠人員疏散。
臺積電指出,南科晶圓廠區(qū)測得最大震度為5級、中科廠區(qū)最大測得震度為4級、竹科廠區(qū)最大測得震度為3級。為確保人員安全,各廠區(qū)依照內(nèi)部程序啟動相關安全預防措施,部分中部及南部廠區(qū)在第一時間進行人員疏散,21日凌晨1時許全數(shù)完成清點,確定人員安全無憂。各廠區(qū)也完成建筑震后損害檢查,確認結構安全無憂,逐步回線。
業(yè)內(nèi)人士透露,臺積電約需要耗費一天或者以上才能將機臺重新調(diào)教歸位并且恢復生產(chǎn)功能,災損情況同樣需要時間。生產(chǎn)線上晶圓毀損情況方面,估計將出現(xiàn)1至2萬片晶圓破損,是否影響客戶出貨進度,將視后續(xù)恢復情形。
據(jù)悉,中國臺灣南科園區(qū)半導體工廠普遍有7級以上的防震設計,然而這次地震搖晃時間長,機臺仍有位移風險,支援設備業(yè)者即透露,龍頭大廠某產(chǎn)線機臺幾乎停擺。
臺積電南科廠區(qū)目前為3、5nm制程晶圓生產(chǎn)的重點廠區(qū),客戶涵蓋輝達、AMD、英特爾等大廠。
法人估計將出現(xiàn)1至2萬片晶圓破損,是否影響客戶出貨進度,將視后續(xù)恢復情形。